硅片切割液固液分離設(shè)備廠家中亞小編今天和大家談?wù)勱P(guān)于硅片切割面崩裂的問題要如何解決。

硅片的切割過程是由鋼線和砂漿共同完成的，其中砂漿是由碳化硅和切割液按照一定比例配制成的，具有一定的粘度和密度，而實(shí)際起到切割作用的是碳化硅顆粒。鋼線環(huán)繞糾纏在切割室導(dǎo)輪上形成平整的線網(wǎng)，切割過程中，砂漿高速滾動，從漿料嘴流出的砂漿因?yàn)榍懈钜旱膽腋∽饔檬沟锰蓟桀w粒包裹在鋼線表面，跟著鋼線的滾動，對硅塊產(chǎn)生碰撞摩擦，因?yàn)樘蓟璧哪嫌捕葹?.5，硅的莫氏硬度為7，碳化硅的硬度大于硅的硬度，從而起到切割作用。

鋼線切割至硅塊粘接面時會經(jīng)由三類介質(zhì)，即硅塊、膠層和玻璃，因?yàn)槿N介質(zhì)的硬度不同鋼線在經(jīng)由三種介質(zhì)時受到應(yīng)力作用被崩開，造成硅落，產(chǎn)生膠面崩邊。另外三種介質(zhì)熔點(diǎn)不同，切割過程中產(chǎn)生的高溫順熱量會使膠層和玻璃軟化，影響鋼線攜砂能力，增大出刀鋸痕，導(dǎo)致產(chǎn)生膠面崩邊。為降低出產(chǎn)本錢，小槽距細(xì)鋼線切割已成為當(dāng)前切片行業(yè)的趨勢，但是因?yàn)殇摼€直徑變細(xì)，攜砂能力會受到一定影響；另一方面槽距減小，出片數(shù)增多，切割面積增大，也會加劇對碳化硅的磨損和破碎，從而降低砂漿的切割能力。特別是切割至出刀位置，碳化硅棱角被磨圓，切割能力進(jìn)一步降低，因此不可避免會存在線弓（一般地，線弓為5-7mm）。

針對此問題，可采取的措施是：

（1）調(diào)整出刀工藝，在硅塊切割至出刀位置時提前降低工作臺速度，這樣有利于增加砂漿的輪回量，彌補(bǔ)砂漿切割能力不足的題目。

（2）因?yàn)槌龅镀陂g臺速較慢，若砂漿流量過大，砂漿活動造成的沖擊力輕易使鋼線崩開造成膠面崩邊，因此出刀期間的砂漿流量應(yīng)適當(dāng)減小。

（3）進(jìn)步出刀期間砂漿的切割能力，這可以通過改變砂漿的更新方式實(shí)現(xiàn)。通常，砂漿更新是在每鋸硅片切割結(jié)束后進(jìn)行，為增加切割后期砂漿的切割能力，我們可以選擇在每鋸切割至90%時更新砂漿，這樣可以有效減小出刀線弓，減小出刀鋸痕和對鋼線的作用力。

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